贵阳分部广州分部
网站地图联系我们所长信箱建议留言内部网English中国科学院
 
 
首页概况简介机构设置研究队伍科研成果实验观测合作交流研究生教育学会学报图书馆党群工作创新文化科学传播信息公开
  新闻动态
  您现在的位置:首页 > 新闻动态 > 专利简讯
孙晨等:一种高灵敏度三轴MEMS加速度计及其制造工艺
2016-06-28 | 作者:科技处 | 【 】【打印】【关闭

现今,加速度计可适用于诸多应用,例如在测量地震强度并收集数据、检测汽车碰撞时的撞击程度、以及在手机及游戏机中检测出倾斜的角度和方向。而在微电子机械系统(MEMS)技术不断进步的情况下,许多纳米级的小型加速度测量仪已经被商业化广泛采用。目前市场上的高端三轴加速度计都是将单一轴向的加速度计进行组装来实现三轴测量,其装配的复杂性及成本较高,体积较大。为了克服其现有技术不足,中科院地质地球所油气资源研究室博士生孙晨等发明了一种高灵敏度三轴MEMS加速度计及其制造工艺,并于近期获得国家专利授权(发明名称:一种高灵敏度三轴MEMS加速度计及其制造工艺;发明人:孙晨,于连忠、专利号:ZL 2013 1 0182168.4)。

该专利依托油气重大专项《MEMS加速度传感器规模化制造技术与数字检波器集成》,以4层硅片的硅硅高温键合、悬挂结构释放、梳齿结构制造等关键工艺技术为基础,使用平板电容和梳齿电容测量相结合的方式,实现三轴加速度的同时检测。此外,其大质量块的设计结构使其测量灵敏度增高,交叉干扰减小,稳定性增强,集成度提高,将多个质量块通过键合的方式从垂直方向进行集成,缩减了加速度计的整体尺寸,有效的降低了生产成本。

图1

图2

该专利发明的单体式三轴加速度计,不仅提高了集成度,而且在保持高性能的同时能够实现三轴测量,适用于地震监测,石油勘探等领域。

专利证书

 
地址:北京市朝阳区北土城西路19号 邮 编:100029 电话:010-82998001 传真:010-62010846
版权所有© 2009 中国科学院地质与地球物理研究所 京ICP备05029136号 京公网安备110402500032号